天津小型真空泵-北京凯德金-小型真空泵生产厂家

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    2022-5-27

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真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,天津小型真空泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。




真空泵机械选择

⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。⑵了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,小型真空泵生产厂家,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。




真空泵如何调节供水量

随着真空泵的使用率愈来愈广泛,在设备使用全过程中挑选合适的操作方式,才可以达到---的使用效果,为了---的应用,下面咱们一起了解下真空泵调节供水量的操作方法有哪些吧。

当水环真空泵启动操作的整个过程中,可以说是不---水,使其压力平衡,并且有着充足的水。由于真空泵的供水量有一定的范围,为了获得标准供水量,节约用水可按下程序调节供水阀。当水环真空泵正常运转后,适当打开供水阀,然后观察入口真空表压力。慢慢关小供水阀得开度,小型真空泵多少钱,当真空表指针开始波动或下降时,小型真空泵报价,这时的供水量已经不够,重新慢慢打开供水阀门,当真空表指针重新稳定时,这时的供水量为标准供水。





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