分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
虽然液环泵属于粗真空泵，但在的石油、化工、电力、轻纺、造纸、等领域仍然有着很大的市场。在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，真空泵厂家，仅次于干泵，由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，真空泵，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，真空泵多少钱，减轻重量，提，降低能耗。
粗真空系主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作---、维护方便的特点。主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，---是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。
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