水环式真空泵-凯德金科技-水环式真空泵公司

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵的安装流程

真空泵的安装流程如下：

1.检查真空泵各部件是否完好无损，如有损坏要及时更换修理。准备好所需的工具和附件，如螺丝刀、钳子、密封垫等。

2.选择平整的地面或支架，将泵体安装在上面，注意泵体的进、出口朝向是否正确，以便与使用系统连接。

3.将电机安装在泵体上，并连接好传动带。

4.将风扇安装在电机轴上。

5.根据需要在真空泵上安装冷凝器，水环式真空泵，连接好冷凝器的进、出口。

6.将泵的进、出口与使用系统连接，通过法兰或者螺纹连接，应按照连接标准操作，严格按照法兰焊接连接方案进行操作。

7.在安装完成后，需要将泵固定在地面或基础上，以免在使用过程中因震动等原因造成损坏或移位。

8.检查各部位的紧固情况，---泵能平稳运行。

以上就是真空泵的安装流程，注意在安装过程中要严格遵守各项操作规程，水环式真空泵生产厂家，---安装和使用安全。同时，在安装完成后也要进行---的检查和维护，以---真空泵的正常运行和使用寿命。