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真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,水环真空泵报价,以满足不同场合的需要。



真空泵的安装过程

真空泵的安装过程需要---设备能够安全、稳定地运行,并满足生产需求。以下是关于真空泵安装步骤的详细说明:

1.选择安装场所:真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。

2.基础准备:泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,---泵运转平稳,振动小。

3.连接管道:泵与系统的连接管道应密封---,对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小泵可采用真空胶管连接,水环真空泵厂家,管道管径不得小于泵吸气口径,水环真空泵,且要求管路短而少弯头。在连接管路中,用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计,水环真空泵供应商,随时可检查泵的---压力。

4.电源连接:按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

5.冷却水连接:对于有冷却水的泵,应按规定接通冷却水,---泵在运行过程中能够得到有效的冷却。

6.装配泵体:拆箱后,除去一切包装,检查仪器在运输过程中是否损坏。将旋片装好弹簧后装入转子槽中,试试活动是否---。装高转子时,先装高真空端的大转子,将带旋片的高转子把紧,将低轴端插入中隔板的轴孔中放正。泵腔中事先应加适量的真空泵油作润滑,并认真注意真空卫生。

7.试运转:泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认泵转向符合规定方向方可投入使用,以防泵反转喷油。

总的来说,真空泵的安装过程需要细致、严谨,---每个步骤都符合规定要求,以---设备的正常运行和使用寿命。在安装过程中,应注意安全,避免发生意外事故。





真空泵直联旋片泵

随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在建立厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能问题,---直联泵在高速、高温下性能稳定和运行---,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。





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