





在日常的企业使用中,我们在使用水环式真空泵的时候有可能会出现漏气的现象,拧紧水环真空泵的所有联接螺栓,拧紧填料压盖,紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处,还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。轴承歪斜使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言,其轴向间隙不均匀,叶轮旋转时,必然会有一部分与侧盖摩擦,擦伤侧盖和叶轮端面,使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时,大量地泄漏到吸入腔里去,使真空度或排气压力降低。这时必须将水环真空泵的轴承拆下来进行修理,然后再进行正确地安装。
水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度,后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高,饱和蒸汽压也随之升高,小型真空泵,这样就会降低真空度,但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环---的原因比较多,有可能是输进液环的温度本来就高,也有可能是供给水或供给液水母不足,以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高,还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦---促使液环温升,以及轴承---或泵长期工作等因素所造成。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,小型真空泵多少钱,水蒸气被低温板捕获,小型真空泵报价,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又---了膜层。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,小型真空泵,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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